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发明名称 METHOD FOR FORMING SELF-ALIGNED METALLIC WIRE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1064996(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19970186702 申请日期 1997.07.11
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 JUN YOUNG-KWON
分类号 H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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