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发明名称 PARTICLE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH1062331(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19960218816 申请日期 1996.08.20
申请人 NGK INSULATORS LTD 发明人 HIROTA JUICHI;SHIBATA KAZUYOSHI
分类号 G01N15/02;G01N3/48;G01N15/06;G01N29/04;G01N29/22;G01N33/28;H01L41/08;(IPC1-7):G01N15/02 主分类号 G01N15/02
代理机构 代理人
主权项
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