发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH1064795(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19960222244 申请日期 1996.08.23
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 HARA TAKAHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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