发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH1065181(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19970102690 申请日期 1997.04.04
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 CHIYOU KOUYUU;KONUMA TOSHIMITSU;SUZUKI ATSUNORI;ONUMA HIDETO;YAMAGUCHI NAOAKI;SUZAWA HIDEOMI;UOJI HIDEKI;TAKEMURA YASUHIKO
分类号 H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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