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经营范围
发明名称
CLEANING METHOD AND ITS DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1064872(A)
申请公布日期
1998.03.06
申请号
JP19960227363
申请日期
1996.08.12
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
SHINDO NAOKI;YAMASAKA MIYAKO;KAMIKAWA YUJI
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
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