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发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH1064467(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19960222383 申请日期 1996.08.23
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KOMATSU BUNRO;MOTOKI HIROSHI
分类号 G01B15/00;G01B15/08;H01J37/18;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/18 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
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