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发明名称 Magnetron cathode apparatus and method for sputtering
摘要
申请公布号 GB9800383(D0) 申请公布日期 1998.03.04
申请号 GB19980000383 申请日期 1996.07.10
申请人 CVC PRODUCTS INC 发明人
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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