发明名称 |
半导体装置 |
摘要 |
本发明提供一种半导体装置,包含:半导体衬底;n型杯状结构,自该半导体衬底的上表面延伸至该半导体衬底中,其中该n型杯状结构包含底部其埋藏于该半导体衬底中;p型埋藏层,其位于该n型杯状结构的该底部上,其中该p型埋藏层埋藏于该半导体衬底中;以及高压n型金属氧化物半导体元件,其位于该p型埋藏层上,且位于由该n型杯状结构的侧边所围绕的区域中。借助本发明,易于增加n型与p型埋藏层的杂质浓度,能够施加正的和负的两种源极/漏极至衬底电压而不会有显著的漏电流和/或击穿。 |
申请公布号 |
CN101339945A |
申请公布日期 |
2009.01.07 |
申请号 |
CN200710180149.2 |
申请日期 |
2007.10.10 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
魏启珊;吴国铭;林怡君 |
分类号 |
H01L27/04(2006.01);H01L27/088(2006.01);H01L21/762(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/04(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
陈晨 |
主权项 |
1.一种半导体装置,包含:半导体衬底;n型杯状结构,其自该半导体衬底的上表面延伸至该半导体衬底中,其中该n型杯状结构包含埋藏于该半导体衬底中的底部;p型埋藏层,其位于该n型杯状结构的该底部上,其中该p型埋藏层埋藏于该半导体衬底中;以及高压n型金属氧化物半导体元件,其位于该p型埋藏层上,且位于由该n型杯状结构的侧边所围绕的区域中。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |