发明名称 半导体装置
摘要 本发明提供一种半导体装置,包含:半导体衬底;n型杯状结构,自该半导体衬底的上表面延伸至该半导体衬底中,其中该n型杯状结构包含底部其埋藏于该半导体衬底中;p型埋藏层,其位于该n型杯状结构的该底部上,其中该p型埋藏层埋藏于该半导体衬底中;以及高压n型金属氧化物半导体元件,其位于该p型埋藏层上,且位于由该n型杯状结构的侧边所围绕的区域中。借助本发明,易于增加n型与p型埋藏层的杂质浓度,能够施加正的和负的两种源极/漏极至衬底电压而不会有显著的漏电流和/或击穿。
申请公布号 CN101339945A 申请公布日期 2009.01.07
申请号 CN200710180149.2 申请日期 2007.10.10
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 魏启珊;吴国铭;林怡君
分类号 H01L27/04(2006.01);H01L27/088(2006.01);H01L21/762(2006.01) 主分类号 H01L27/04(2006.01)
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 陈晨
主权项 1.一种半导体装置,包含:半导体衬底;n型杯状结构,其自该半导体衬底的上表面延伸至该半导体衬底中,其中该n型杯状结构包含埋藏于该半导体衬底中的底部;p型埋藏层,其位于该n型杯状结构的该底部上,其中该p型埋藏层埋藏于该半导体衬底中;以及高压n型金属氧化物半导体元件,其位于该p型埋藏层上,且位于由该n型杯状结构的侧边所围绕的区域中。
地址 中国台湾新竹市