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发明名称 Method of producing microscopic structure
摘要
申请公布号 EP0476479(B1) 申请公布日期 1998.03.04
申请号 EP19910115228 申请日期 1991.09.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 SHIBAIKE, NARITO;NAGASHIMA, MICHIYOSHI;UENO, FUMIAKI;KISHI, TOSHINORI
分类号 C23F4/00;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/305 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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