| 发明名称 |
SEMIFINISHED PRODUCT FOR ELECTRONIC OR OPTO-ELECTRONIC SEMICONDUCTOR COMPONENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0764344(B1) |
申请公布日期 |
1998.03.04 |
| 申请号 |
EP19950923223 |
申请日期 |
1995.06.02 |
| 申请人 |
HERAEUS QUARZGLAS GMBH |
发明人 |
ENGLISCH, WOLFGANG;UEBBING, REINHOLD |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/20;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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