荫罩的制造方法、荫罩的制造装置及其所用的清洗装置

摘要

根据本发明的清洗装置具有:清洗部(121),具有气穴喷射装置,在保持基本水平的状态,在沿纵向输送的带状金属薄板的上面及下面,喷出对该带状金属薄板是惰性的清洗液,在上述金属薄板的表面附近发生气穴,进行急速的清洗;第1防漏密封部(124),设置在所述清洗部的前段,制约该金属薄板的位置,而且防止所述清洗液在与该金属薄板输送方向相反方向漏出。采用这样的清洗装置进行腐蚀后的清洗,由此可以急速地稀释除去残留于光刻胶膜檐部内侧的腐蚀液,因而可以防止开孔尺寸、形状的偏差。

主权项

1.一种荫罩的制造方法，包括如下工序：在具有2个主表面的金属薄板的两个主表面上，形成其至少一面具有与荫罩开口对应的图形的蚀刻保护膜；采用含氯化铁的腐蚀液，对形成有该蚀刻保护膜的金属薄板，进行腐蚀；其特征在于，在该蚀刻工序之后，用对该金属薄板是惰性的腐蚀抑制液，置换洗净该腐蚀液。