发明名称 |
ELECTRON BOMBARDMENT INSTALLATION |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0826221(A1) |
申请公布日期 |
1998.03.04 |
申请号 |
EP19970908209 |
申请日期 |
1997.03.10 |
申请人 |
VIOTECHNIK GESELLSCHAFT FUER INNOVATIVE OBERFLAECHENTECHNIK MBH |
发明人 |
KAMPMEIER, FRANZ |
分类号 |
B05C9/14;B29C35/08;B29C35/10;B29C37/00;G21K5/04;G21K5/10;H01J37/317;(IPC1-7):G21K5/10 |
主分类号 |
B05C9/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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