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发明名称
METHOD FOR PLANARIZATION OF SUBMICRON VIAS AND THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号
EP0694086(A4)
申请公布日期
1998.03.04
申请号
EP19940912876
申请日期
1994.03.25
申请人
MATERIALS RESEARCH CORPORATION
发明人
HENDEL, RUDI;LEVINSTEIN, HYMAN
分类号
H01L21/28;C23C14/04;H01L21/321;H01L21/768;H01L29/41;(IPC1-7):C23C14/00
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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