发明名称 METHOD FOR PLANARIZATION OF SUBMICRON VIAS AND THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP0694086(A4) 申请公布日期 1998.03.04
申请号 EP19940912876 申请日期 1994.03.25
申请人 MATERIALS RESEARCH CORPORATION 发明人 HENDEL, RUDI;LEVINSTEIN, HYMAN
分类号 H01L21/28;C23C14/04;H01L21/321;H01L21/768;H01L29/41;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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