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发明名称
摘要
申请公布号 JP2720706(B2) 申请公布日期 1998.03.04
申请号 JP19920124126 申请日期 1992.04.17
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 MACHIDA SHOICHI
分类号 H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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