发明名称
摘要
申请公布号 JP2720677(B2) 申请公布日期 1998.03.04
申请号 JP19910357913 申请日期 1991.12.26
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 SHINNO TAEKO
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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