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发明名称
摘要
申请公布号
JP2722518(B2)
申请公布日期
1998.03.04
申请号
JP19880220208
申请日期
1988.09.02
申请人
SONII KK
发明人
KURODA HIDEAKI
分类号
H01L21/76;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
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