喷墨头基片、喷墨头、喷墨装置和制造喷墨记录头的方法

摘要

一种用于喷墨记录头的基片,具有用于产生供排墨所用的热能的许多产热元件。该产热元件由用Ta_xSi_yR_z表示的材料制成的薄膜构成,该薄膜具有4000μΩ·cm或更小的电阻率值,其中R是从C、O、N当中选取的一种或几种元素,并且x+y+z=100。具有这样的结构,产热元件即使连续长时间使用,电阻值的改变也处在小的数量之内,因而可以提供高质量的记录图象,且寿命长、可靠性高。

主权项

1.一种用于喷墨记录头的基片，具有许多产热元件，用于产生供排墨用的热能，所述产热元件由具有4000μΩ·cm或更小的电阻率的薄膜制成，所述薄膜用由TaxSiyRz表示的材料制成，其中R是从C、O、N当中选取的一种或几种元素，且x+y+z＝100。