发明名称 METHOD FOR PLASMA TREATMENT OF SURFACE AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH1060652(A) 申请公布日期 1998.03.03
申请号 JP19960212636 申请日期 1996.08.12
申请人 UNIV MICHIGAN STATE 发明人 G ZANG;JESS ASMUSSEN
分类号 H05H1/46;B23P15/32;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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