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发明名称 SEMICONDUCTOR TEST APPARATUS USING BURN-IN TEST SOCKET AND CLEANING METHOD AND CLEANING CHIP FOR THE BURN-IN TEST SOCKET
摘要
申请公布号 KR20090046098(A) 申请公布日期 2009.05.11
申请号 KR20070112046 申请日期 2007.11.05
申请人 IMT CO., LTD. 发明人 LEE, JONG MYOUNG
分类号 H01L21/66;G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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