发明名称 |
ROTARY TREATING DEVICE FOR SUBSTRATE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH1057872(A) |
申请公布日期 |
1998.03.03 |
申请号 |
JP19960217505 |
申请日期 |
1996.08.19 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
SHIMA YASUMASA |
分类号 |
F26B5/08;B05C11/08;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):B05C11/08 |
主分类号 |
F26B5/08 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|