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发明名称 FILM FORMING METHOD BY SPUTTERING AND FILM FORMING DEVICE BY SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH1060640(A) 申请公布日期 1998.03.03
申请号 JP19960214696 申请日期 1996.08.14
申请人 SONY CORP 发明人 TADA YOSHIYUKI
分类号 C23C14/35;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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