发明名称 VACUUM VALVE WITH AUXILIARY VACUUM VESSEL
摘要
申请公布号 JPH1060990(A) 申请公布日期 1998.03.03
申请号 JP19960244193 申请日期 1996.08.26
申请人 EBARA CORP 发明人 SHIMIZU OSAMU;KON AKIHIRO
分类号 E03F3/00;E03F5/22;E03F7/00;(IPC1-7):E03F3/00 主分类号 E03F3/00
代理机构 代理人
主权项
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