| 发明名称 |
COIL FOR GENERATING PLASMA AND FOR SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1060638(A) |
申请公布日期 |
1998.03.03 |
| 申请号 |
JP19970155665 |
申请日期 |
1997.05.09 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
JAIM NULMAN;EDELSTEIN SERGIO;SUBRAMANI MANI;XU ZENG;GRUNES HOWARD;TEPMAN AVI;FORSTER JOHN;GOPALRAJA PRABURAM |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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