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发明名称 Ionen implantierer
摘要
申请公布号 DE69408017(D1) 申请公布日期 1998.02.26
申请号 DE19946008017 申请日期 1994.03.10
申请人 DIAMOND SEMICONDUCTOR GROUP, INC., GLOUCESTER, MASS., US 发明人 WHITE, NICHOLAS R., WENHAM, MASSACHUSETTS 01984, US;SIERADZKI, MANNY, MANCHESTER, MASSACHUSETTS 01944, US;RENAU, ANTHONY, WEST NEWBURY, MASSACHUSETTS 01985, US
分类号 H01J37/05;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
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