发明名称 Zerstäubungstarget mit Warneinrichtung
摘要
申请公布号 DE69404372(T2) 申请公布日期 1998.02.26
申请号 DE19946004372T 申请日期 1994.04.27
申请人 JAPAN ENERGY CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SAWADA, SUSUMU, C/O JAPAN ENERGY CORPORATIO, MINATO-KU, TOKYO, JP;ANAN, JUNICHI, C/O JAPAN ENERGY CORPORATION, KITAIBARAKI-SHI, IBARAKI-KEN, JP;NAKAMURA, HIROKI C/O OKI ELECTR. INDUSTRY CO., LTD, MINATO-KU, TOKYO, JP;SAKAYA, YOSHIHIRO, C/O OKI ELECTRIC IND. CO., LTD, MINATO-KU, TOKYO, JP
分类号 C23C14/34;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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