发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Kondensators für eine Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE19526232(C2) 申请公布日期 1998.02.26
申请号 DE19951026232 申请日期 1995.07.18
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD., ICHON, KYOUNGKI, KR 发明人 KIM, JEONG HO, ICHON, KYOUNGKI, KR
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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