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发明名称
Mikromechanisches Bauteil mit einem Schaltelement als beweglicher Struktur, Mikrosystem und Herstellverfahren
摘要
申请公布号
DE59501309(D1)
申请公布日期
1998.02.26
申请号
DE19955001309
申请日期
1995.04.24
申请人
SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE
发明人
ZETTLER, THOMAS, DR., D-81737 MUENCHEN, DE
分类号
H01H1/00;H01H35/02;(IPC1-7):H01H35/02
主分类号
H01H1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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