| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Reibungsvakuumpumpe mit mindestens einer Turbomolekularpumpenstufe (2) und einer sich daran druckseitig anschließenden Gewindepumpenstufe (4); zur Verbesserung der Pumpeigenschaften wird vorgeschlagen, daß sich zwischen der Turbomolekularpumpenstufe (2) und der Gewindepumpenstufe (4) eine Füllstufe (3) mit Flügeln (13) befindet, deren Länge saugseitig der aktiven Länge der druckseitig gelegenen Schaufeln der Turbomolekularpumpenstufe (2) und druckseitig der Tiefe des saugseitigen Bereichs des Gewindes (14) der Gewindestufe (4) entsprechen.</p> |
