Apparat für ellipsometrische Untersuchungen von Materialien
摘要
申请公布号
DE59209144(D1)
申请公布日期
1998.02.26
申请号
DE19925009144
申请日期
1992.04.03
申请人
HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GMBH, 14109 BERLIN, DE
发明人
CRAMER, LUDGER, DIPL.-PHYS., W-1000 BERLIN 28, DE;DUWE, HARTMUT, DIPL.-PHYS., W-1000 BERLIN 19, DE;LEWERENZ, HANS-JOACHIM, DR.RER.NAT., W-1000 BERLIN 39, DE
