| 发明名称 |
A method of measuring the layer thicknesses of a multilayered sample |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0639753(B1) |
申请公布日期 |
1998.02.25 |
| 申请号 |
EP19940111988 |
申请日期 |
1994.08.01 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. |
发明人 |
HORIE, MASAHIRO |
| 分类号 |
G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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