| 发明名称 |
Semiconductor device transporting and handling apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2316536(A) |
申请公布日期 |
1998.02.25 |
| 申请号 |
GB19970017740 |
申请日期 |
1997.08.22 |
| 申请人 |
* ADVANTEST CORPORATION |
发明人 |
YUKIO * KANNO;TOSHIYUKI * KIYOKAWA |
| 分类号 |
B25J13/00;B23Q15/24;H01L21/50;H05K13/02;H05K13/04;(IPC1-7):H01L21/00;G05D3/12 |
主分类号 |
B25J13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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