发明名称 |
Photosensitive polyimide precursor formulation |
摘要 |
<p>Photosensitive compositions containing a polyimide precursor and a complex cation of a polymerizable carboxylic acid functional compound with a tertiary amino functional group; and use thereof to provide a pattern.</p> |
申请公布号 |
EP0538716(B1) |
申请公布日期 |
1998.02.25 |
申请号 |
EP19920117496 |
申请日期 |
1992.10.14 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
GELORME, JEFFREY DONALD;GOLDBERG, MARTIN JOSEPH;LABIANCA, NANCY CAROLYN;SHAW, JANE MAR WEST |
分类号 |
C08G73/10;C08L79/08;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/037;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/037;C08G73/14 |
主分类号 |
C08G73/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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