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发明名称 CRYSTALLIZATION OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH1055979(A) 申请公布日期 1998.02.24
申请号 JP19960226166 申请日期 1996.08.09
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 KUDO TOSHIO
分类号 H01L21/20;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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