BAKING DEVICE AND METHOD,申请号JP19960212753-传众专利搜索

发明名称	BAKING DEVICE AND METHOD
摘要
申请公布号	JPH1055951(A)	申请公布日期	1998.02.24
申请号	JP19960212753	申请日期	1996.08.12
申请人	SONY CORP	发明人	YOSHIZAWA NORITSUGU
分类号	H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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