发明名称 METHOD AND DEVICE FOR SEPARATING CRYSTAL WAFER AND ADHESIVE
摘要
申请公布号 JPH1056349(A) 申请公布日期 1998.02.24
申请号 JP19960226050 申请日期 1996.08.08
申请人 ASETSUKU KK;REJITETSUKUSU:KK 发明人 YAMAMOTO KOJU;KAYA HIROYUKI
分类号 C30B29/18;H03H3/02;(IPC1-7):H03H3/02 主分类号 C30B29/18
代理机构 代理人
主权项
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