发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR SEPARATING CRYSTAL WAFER AND ADHESIVE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1056349(A) |
申请公布日期 |
1998.02.24 |
申请号 |
JP19960226050 |
申请日期 |
1996.08.08 |
申请人 |
ASETSUKU KK;REJITETSUKUSU:KK |
发明人 |
YAMAMOTO KOJU;KAYA HIROYUKI |
分类号 |
C30B29/18;H03H3/02;(IPC1-7):H03H3/02 |
主分类号 |
C30B29/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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