| 发明名称 |
PROJECTION OPTICAL DEVICE AND PROJECTION EXPOSURE DEVICE PROVIDED THE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1054932(A) |
申请公布日期 |
1998.02.24 |
| 申请号 |
JP19960225872 |
申请日期 |
1996.08.08 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
HATAZAWA MASATO;IKEDA MASATOSHI |
| 分类号 |
G02B7/02;G02B13/14;G02B27/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B7/02 |
主分类号 |
G02B7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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