| 发明名称 |
FORMATION OF SHALLOW JOINT OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1055978(A) |
申请公布日期 |
1998.02.24 |
| 申请号 |
JP19970149491 |
申请日期 |
1997.06.06 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRON IND CO LTD |
发明人 |
LEE KIL HO;YU SANG HO |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8234;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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