| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING THIN FILM, AND THIN FILM TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1055959(A) |
申请公布日期 |
1998.02.24 |
| 申请号 |
JP19960211149 |
申请日期 |
1996.08.09 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
ISHIZUKA YOSHIKI;MATSUURA YUKI;MIHASHI HIROSHI;ASHIYURAFU UDEIN |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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