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经营范围
发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH1055964(A) 申请公布日期 1998.02.24
申请号 JP19960211260 申请日期 1996.08.09
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 SUEYOSHI MAMORU
分类号 C23C16/44;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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