| 发明名称 |
METHOD FOR SUPPLYING SI BY PREVENTING ABNORMAL OXIDIZATION OF WSIX AND FORMING HOMOGENEOUS SIX WHEN PRODUCING INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1055981(A) |
申请公布日期 |
1998.02.24 |
| 申请号 |
JP19970114514 |
申请日期 |
1997.05.02 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
DEHM CHRISTINE;STENGL RICHARD J;TIMME HANS-JOERG |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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