DEPOSIT REMOVING TRAP,申请号JP19960232523-传众专利搜索

发明名称	DEPOSIT REMOVING TRAP
摘要
申请公布号	JPH1054356(A)	申请公布日期	1998.02.24
申请号	JP19960232523	申请日期	1996.08.14
申请人	EBARA CORP	发明人	NOMICHI SHINJI;NOMURA NORIHIKO;SUGIURA TETSUO;FUKASAKU YOSHIRO
分类号	F04B37/16;H01L21/02;(IPC1-7):F04B37/16	主分类号	F04B37/16
代理机构		代理人
主权项
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