发明名称 |
METHOD OF CONVERTING MATERIAL IN AMORPHOUS SEMICONDUCTOR STATE INTO MATERIAL IN POLYCRYSTALLINE SEMICONDUCTOR STATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1055960(A) |
申请公布日期 |
1998.02.24 |
申请号 |
JP19970086964 |
申请日期 |
1997.04.04 |
申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
TORISU BOUTOSASU;TATSUO NAKATO |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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