发明名称 METHOD OF CONVERTING MATERIAL IN AMORPHOUS SEMICONDUCTOR STATE INTO MATERIAL IN POLYCRYSTALLINE SEMICONDUCTOR STATE
摘要
申请公布号 JPH1055960(A) 申请公布日期 1998.02.24
申请号 JP19970086964 申请日期 1997.04.04
申请人 SHARP CORP 发明人 TORISU BOUTOSASU;TATSUO NAKATO
分类号 H01L21/20;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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