| 发明名称 |
COMBINED ION BEAM, MICROWAVE IRRADIATION MEANS AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1055775(A) |
申请公布日期 |
1998.02.24 |
| 申请号 |
JP19970114254 |
申请日期 |
1997.04.16 |
| 申请人 |
MOTOROLA SEMICONDUCTEURS SA |
发明人 |
GRIOT DENIS;GAY HENRI CLAUDE;PAGES IRENEE;GIBERT PIERRE;LIN KWANG JACQUES |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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