发明名称 |
COMPLEMENTARY RESETTING METHOD OF MICROMECHANICAL DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1048543(A) |
申请公布日期 |
1998.02.20 |
申请号 |
JP19970046383 |
申请日期 |
1997.02.28 |
申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
KNIPE RICHARD L;CARTER DUANE E;WHITE LIONEL S |
分类号 |
G02B26/08;H02N1/00;(IPC1-7):G02B26/08 |
主分类号 |
G02B26/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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