发明名称 COMPLEMENTARY RESETTING METHOD OF MICROMECHANICAL DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1048543(A) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 JP19970046383 申请日期 1997.02.28
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 KNIPE RICHARD L;CARTER DUANE E;WHITE LIONEL S
分类号 G02B26/08;H02N1/00;(IPC1-7):G02B26/08 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
主权项
地址