| 发明名称 |
METHOD FOR INTRODUCING CHEMICAL ELEMENT INTO RECEPTION MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1050624(A) |
申请公布日期 |
1998.02.20 |
| 申请号 |
JP19970132630 |
申请日期 |
1997.05.22 |
| 申请人 |
XEROX CORP |
发明人 |
PIN MEI;RENE EE RUJIYAN;JIEIMUZU BII BOISU |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/22;H01L21/223;H01L21/225;H01L21/268;H01L21/30;H01L21/336;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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