| 发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1050994(A) |
申请公布日期 |
1998.02.20 |
| 申请号 |
JP19960205533 |
申请日期 |
1996.08.05 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
TOKUYAMA YOSHIHIRO;OMI TOSHINORI;ARUBERUTO OO ADAN |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/762;H01L29/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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