| 发明名称 |
CVD APPARATUS AND CLEANING THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1050685(A) |
申请公布日期 |
1998.02.20 |
| 申请号 |
JP19970103211 |
申请日期 |
1997.04.21 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
UI AKIO;KAJI SHIGEHIKO;MIYAJIMA HIDESHI;HAYASAKA NOBUO |
| 分类号 |
B08B7/00;C23C16/44;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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