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发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND ITS THIN FILM-FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH1051002(A) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 JP19960208352 申请日期 1996.08.07
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 KAMEDA KENJI
分类号 H01L21/205;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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