发明名称 WAFER-TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH1050654(A) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 JP19960203673 申请日期 1996.08.01
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAMOTO KENICHI
分类号 B08B3/08;B08B3/10;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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