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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1050706(A)
申请公布日期
1998.02.20
申请号
JP19970088390
申请日期
1997.04.07
申请人
TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICROELECTRON CORP
发明人
FUJII HIDETAKE;SAKURAI SEISHI;SHIMIZU MITSURU
分类号
H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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